金刚石(钻石)是全世界最坚硬的物质,硬度可达10,000 HV。而利用相关之CVD技术所生长的金刚石涂层拥有许多优异的性能是其他材料所无法比拟的。它具有天然金刚石般的硬度和弹性模量,极高的导热率,非常好的化学稳定性,以及的光学特性。这些优良的特性使它被广泛应用于工具涂层,半导体制造等领域.
化学气相沉积技术(CVD)是通过化学反应的方式,利用加热及光辐射等各种能源,在反应器内使气态的化学物质经化学反应形成金刚石的固态沉积物的技术。而科汇所使用的瑞士NeoCoat 金刚石涂层设备是使用HFCVD (Hot Filament热丝CVD)技术,热丝CVD就是通过加热使物质发生分解反应。
热丝CVD法生产金刚石涂层
纳米级 :刀刃边缘(左图)
微米级 :刀刃边缘 (中间)
金刚石沉积后切削刃的典型图像(右图)